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【2h】

An all-silicon single-wafer micro-g accelerometer with a combined surface and bulk micromachining process

机译：全硅单晶片micro-g加速度计，结合表面和体微加工工艺

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Navid Yazdi; Khalil Najafi;
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年度 2000
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1. An all-silicon single-wafer micro-g accelerometer with a combined surface and bulk micromachining process [J] . Yazdi N., Najafi K. Journal of Microelectromechanical Systems . 2000,第4期

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机译：新型Z轴加速度计，采用扩展的专用批量微加工工艺，具有完全对齐的全偏移垂直梳状结构
3. Surface Micromachined Combined Magnetometer/Accelerometer for Above-IC Integration [J] . Elsayed Mohannad Yomn, Cicek Paul-Vahe, Nabki Frederic, Microelectromechanical Systems, Journal of . 2015,第4期

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4. MEMS low cost inertial grade accelerometers and gyros using a common, bulk micromachining process [C] . Stewart, R. In: AIAA Guidance, Navigation, and Control Conference and Exhibit, Portland, OR, Aug. 9-11, 1999, Collection of Technical Papers. Vol. 2 (A99-36576 09-63), Reston, VA, American Institute of Aeronautics and Astronautics, 1999 . 1999

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